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全新!!EBARA荏原 緊湊型干式真空泵

全新?。BARA荏原 緊湊型干式真空泵 EV-X300N
池田屋實業(yè)優(yōu)勢供應(yīng) ,并提供報價圖片

  • 更新時間:2025-03-21
  • 產(chǎn)品型號:EV-X300N
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 訪  問  量:125
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產(chǎn)品詳情

全新!!EBARA荏原 緊湊型干式真空泵  EV-X300N

全新?。BARA荏原 緊湊型干式真空泵  EV-X300N


EV-X型

結(jié)構(gòu)緊湊、節(jié)能,單個裝置可覆蓋多種工藝

適用于中等負荷工藝
高溫控制
節(jié)能
采用耐腐蝕材料作為標(biāo)準
提高耐腐蝕性的選擇
不同頻率下性能相同(50Hz/60Hz)
無油
符合 CE 標(biāo)志/SEMI-S2/NRTL 要求
占地面積小

該款中負荷工序用干式真空泵搭載了荏原d特的節(jié)能技術(shù),并采用了針對自動化工廠制造而優(yōu)化的模塊化設(shè)計,實現(xiàn)了進一步的小型化和節(jié)能化。
寬范圍的溫度控制擴大了適用工藝。
由于同一型號可覆蓋多個工藝,因此可優(yōu)化備用設(shè)備庫存,減少維護和培訓(xùn)工作,并可靈活適應(yīng)未來的工藝擴展。
此外,通過對各工序進行最佳溫度控制,可提高工序耐性,并可延長零件的更換周期,有助于降低TCoO。
支持的應(yīng)用示例:各種蝕刻和CVD、灰化、離子注入、外延生長等。


產(chǎn)品規(guī)格

型式EV-X100NEV-X200NEV-X300N
最大處理風(fēng)量(L/min)10,00020,00030,000
到達壓力(Pa)0.50.50.5
電源規(guī)格3相200-220V (50/60Hz)3相200-220V (50/60Hz)3相200-220V (50/60Hz)
到達底壓時消耗電力(kW)*0.911.5




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